因为只有将安布雷拉的强大体现出来,才能说明他们更强!
这是一个强大的对手,但还是输了,输在了我们面前!
“但,这一点对EUV光刻机却是不行,我们使用的波长极紫外线电离能力极强,没有镜头可以适合这种精度下让这种高能光束通过,所以唯一可以选择的办法,只有反射!”
一边说着,全息图像上也进行了改变,讲解了一下大概的原理。
就是不断利用一些镜片的反射来完成对极紫外线的汇聚。
总共要完成十几次的反射才能达到最后的曝光要求!
“这对于反射镜片的精度需求可以说是极高的,要感谢卡尔蔡司公司在这方面的付出。”
说完就对旁边卡尔蔡司的工程师做出了一个请的手势。
卡尔蔡司公司的工程师也顺势站了出来礼貌的说道
“我们同样利用到了安布雷拉的技术涂层,不过当然,就精度方面,我们还是有点自信的……”
随后,阿斯麦的代表又介绍了他们的EUV光源。
“之前说了,极紫外线需要通过十几次反射才能达到我们的效果,而因为极紫外线的电离消耗,每次反射都会损失大概30%左右的能量,最终我们能够有效利用的光只有大概2%,因此,我们需要光源有着足够且稳定的输出功率,为了克服这个问题Cymer公司可是花费了整整十年的时间来攻克,不过Cymer公司在三年前已经被我们公司完成了收购……”
一边说着,他一边继续外放了全息画面,里面连原理都出来了,就是用高能激光不断轰击液态金属滴,难度和精确度看着他提供的数据就让人头皮发麻。
只是制造出来不难,可要保持稳定和持久,还有足够输出功率的光源,那就要确保每次的撞击都极为精准,且频率要足够高。
不断轰击滴落的金属液滴,各方面稍微有一点失误都是完全不同的。
再后面随着不断的介绍,观众也明白了这台机器是怎么样组合起来的怪物。
大漂亮的光源技术,霓虹的光源转换设备,高卢的阀件,普鲁士的镜头,瑞典的轴承,都需要极为精密,缺一不可,连安装都要极为精细要避开周边环境的轻微震动。
甚至连运输光刻机的车辆,都是某积电的专利技术!
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